表面プロセスの技術士事務所
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成膜装置のワーク保持動作のダメージ・発塵対策へのアイデア

成膜装置においてはワーク(製品)のハンドリングも大切なポイントです。 ワークを保持する搬送トレイ(搬送キャリア …

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