表面プロセスの技術士事務所
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コラム

チャンバー内のメンテナンスに、マグネット活用の可能性

成膜装置のチャンバー内は、着膜により汚染が進み、異常放電や発塵の原因となります。 そのため定期的に着膜をリセッ …

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