誘導結合プラズマ支援型非平衡マグネトロンスパッタ法によりアクリロニトリル-ブタジエン-スチレン樹脂上に作製したNi薄膜に及ぼすイオン照射の効果 誘導結合プラズマ支援型非平衡マグネトロンスパッタ法によりアクリロニトリル-ブタジエン-スチレン樹脂上に作製したNi薄膜に及ぼすイオン照射の効果