・主催者:株式会社情報機構

・開催日時: 2020年8月21日(金)10:30~16:30

・開催形式:Zoomによるオンライン講座

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・受講料 :47,300円/1名(税込)※各種割引がありますのでお問合せください。

講座概要

 スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な成膜技術です。しかし、量産技術をどのように確立し、改善するのか?についてのノウハウはあまり知られていません。本講座では、スパッタリング薄膜の品質の安定化、密着性改善、生産性向上、トラブル対応など、実務上の重要ポイントを網羅的・具体的に解説します。スパッタリングの基礎を学びたい方から実務エキスパートを目指す方まで、大変お勧めです。

セミナープログラム

1.スパッタリング法の基礎
(1)薄膜技術の基本を知る
(2)スパッタリング法の特徴とその用途
(3)スパッタリング装置の構成
(4)スパッタリング工程の運用と管理方法
2.スパッタリング法の物理現象
(1)物理現象を把握することの重要性について
(2)スパッタリングの物理現象1(プラズマ放電)
(3)スパッタリングの物理現象2(スパッタリング)
(4)スパッタリングの物理現象3(組織形成)
(5)スパッタリングの現象と制御パラメータの関係
3.スパッタリング薄膜の評価・分析技術
(1)スパッタリング薄膜に求められる機能とは
(2)あらゆる機能の基礎となる、膜厚・形状の測定
(3)薄膜の性能を知るための、各種特性の測定・評価
(4)特性の発現機構を明らかにする、結晶構造評価
(5)不具合現象解明のための元素・状態分析
(6)信頼性評価のための機械的性質・密着性評価
4.スパッタリング薄膜の特性安定化
(1)特性実現と特性安定化という2つの課題
(2)特性と制御パラメータの間にあるものを理解する
(3)プロセスのばらつき・変動要因を理解する
(4)プロセスのリアルタイム分析方法、データ解析事例
(5)スパッタリング薄膜の特性安定化の重要ポイント
(6)【事例】特性値の悪化、バラツキ増大、トレードオフ
5.スパッタリング薄膜の密着性・信頼性改善
(1)薄膜の密着と剥離のメカニズム
(2)解析~原因追究の手順
(3)密着性改善・安定化のための具体的な手法
(4)薄膜の信頼性の問題と対策
(5)【事例】密着性不足、信頼性不足、密着性の悪化
6.スパッタリング薄膜の微小欠陥・外観異常対策
(1)スパッタリング薄膜の欠陥モード
(2)スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
(3)ピンホール・付着異物の原因究明と対策
(4)変色・しわ・しみの原因究明と対策
(5)【事例】微小欠陥の増加、異物問題、外観不良
7.スパッタリング工程の生産性改善
(1)スパッタリング工程の原価を把握しよう
(2)スパッタリング工程のコスト改善手法
(3)スパッタリング工程の運用体制と稼働率
(4)スパッタリング工程の稼働率改善法
(5)メンテナンスを安全化しよう
(6)生産性改善アプローチの事例
8.スパッタリングの技術力向上
(1)スパッタリング薄膜の開発のポイント
(2)スパッタリング装置の導入・スケールアップ
(3)スパッタリングのシミュレーション技術
(4)スパッタリング工程を革新する新技術導入
質疑応答 

標準実施時間 6時間+休憩1時間

主な受講対象者

  • 薄膜技術に関わる技術者、技術チームリーダー

期待される効果

・スパッタ薄膜の基礎から応用までを学べる
・スパッタ膜の物性をコントロールする方法を学べる
・薄膜の分析評価技術について知ることができる
・膜の密着性を改善するポイントが分かる
・スパッタ装置の生産性を高める方法を学べる
・スパッタ実務のトラブル解決へのヒントが得られる

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