2018/4/23【東京】スパッタリング講座を開催します。

2018/4/23に東京にてスパッタリングによる薄膜形成技術向上講座を開催します。
膜の密着性を改善したい!微小欠陥を無くしたい!生産性を向上させたい!トラブルを無くしたい!……。
実務における様々な課題に対応するための知識・ノウハウを学べる講座です。

講師紹介割引も適用されますのでお問い合わせください。

名称:スパッタリング薄膜の基礎と品質向上に向けた実務上のポイント
~特性安定化、機械的性質・密着性向上、プロセス改善、トラブル対策等

主催:情報機構
www.johokiko.co.jp/seminar_chemical/AC180478.php

日時:2018年4月23日(月) 10:30~16:30

会場:[東京・京急蒲田]大田区産業プラザ(PiO)6階D会議室
→「会場へのアクセス」

プログラム

はじめに
スパッタリング技術者の業務と必要スキル
<基礎編>
1.1 薄膜の基本を押さえよう
1.2 スパッタリング法と他の成膜技術との違いとは
1.3 スパッタリング薄膜の用途と今後の展開について
1.4 スパッタリング装置の構成を把握しよう
1.5 スパッタリング工程の運用と管理について

2.スパッタリング法の物理現象
2.1 物理現象を把握することの重要性
2.2 スパッタリングの物理現象1(プラズマ放電)
2.3 スパッタリングの物理現象2(スパッタリング)
2.4 スパッタリングの物理現象3(組織形成)
2.5 スパッタリングのパラメータを整理しよう

3.スパッタリング薄膜の評価・分析技術
3.1 スパッタリング薄膜に求められる性能とは
3.2 膜厚・形状の評価方法とポイント
3.3 各種特性評価の方法とポイント
3.4 元素・状態分析の方法とポイント
3.5 結晶構造評価の方法とポイント
3.6 機械的性質・密着性評価の方法とポイント

<応用編>
4.スパッタリング薄膜の特性安定化
4.1 特性実現と特性安定化という2つの課題
4.2 特性とパラメータの間にあるものを理解しよう
4.3 プロセスのばらつき・変動要因について
4.4 プロセスのリアルタイム分析の方法とポイント
4.5 スパッタリング薄膜の特性安定化のポイント
4.6 特性悪化トラブルシューティング 事例と対策

5.スパッタリング薄膜の密着性・信頼性確保
5.1 薄膜の密着と剥離のメカニズム
5.2 剥離解析からの原因追究のポイント
5.3 信頼性評価・・密着性、機械的強度、各種試験
5.4 スパッタリング薄膜の密着性確保のポイント
5.5 密着性トラブルシューティング 事例と対策

6.スパッタリング薄膜の微小欠陥・外観異常対策
6.1 スパッタリング薄膜の欠陥モード
6.2 スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
6.3 ピンホール・付着異物の原因究明と対策
6.4 変色・しわ・しみの原因究明と対策
6.5 外観トラブルシューティング 事例と対策

7.スパッタリング工程の生産性改善
7.1 スパッタリング工程の原価を把握しよう
7.2 スパッタリング工程のコスト改善手法
7.3 スパッタリング工程の運用体制と稼働率
7.4 スパッタリング工程の稼働率改善法
7.5 メンテナンスを安全化しよう
7.6 生産性改善アプローチの事例

8.スパッタリングの技術力向上
8.1 スパッタリングの量産課題を解決しよう
8.2 スパッタリング薄膜の開発のポイント
8.3 スパッタリング装置の導入・スケールアップ
8.4 スパッタリングのシミュレーション技術
8.5 新しい技術を導入して革新を起こそう
8.6 強い工程になるための組織づくり

 

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