2017/11/29【東京】スパッタリング薄膜における特性と密着性・信頼性改善ノウハウ講座を開催します。

2017/11/29にスパッタリング薄膜講座を行います。

開催日時:2017年11月29日(水) 10:30 ~ 17:30
開催場所:【東京】日本テクノセンター研修室 JR新宿駅徒歩12分
受講対象者:輸送機器、機械、半導体、光学機器、電子機器・部品などの表面処理に技術・開発・製造・品質管理担当者など
予備知識:真空技術、薄膜形成、スパッタリングの基礎知識および実務経験があれば理解が深まります
修得知識:
・スパッタリング薄膜の物性をコントロールする方法を学べる
・薄膜の改善のための評価手法について詳しく知ることができる
・膜の密着性・信頼性を改善するポイントが分かる

プログラム
1.スパッタリング法の基礎
(1). スパッタリングにおける物理現象を理解しよう
(2). スパッタの特徴・・長所と短所とは
(3). スパッタ装置の基本的装置構成を押さえる
(4). スパッタ膜の用途と今後の展開について

2.スパッタリング薄膜の特性を学ぶ
(1). 膜の機械・光学・電気物性を知る
(2). 物性とパラメータの間にあるものを理解しよう
(3). コンディションのあらゆる変動要因を知ろう

3.スパッタリング薄膜の特性の管理技術
(1). 膜の分析技術を駆使しよう
(2). ガス分析データを解析するとここまで分かる
(3). 望ましい物性を得るための多種多様なアプローチ
(4). 品質を安定させるための管理方法

4.スパッタリング薄膜の密着性・信頼性改善
(1). 剥離はなぜ起こるのか
(2). 密着性評価の各種手法
(3). 密着性を改善するためのアプローチ
(4). 各種信頼性評価の目的を理解する
(5). 品質管理の負荷を抑える方法